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MFSシリーズオフライン向けX線検査装置
マイクロフォーカス X,Y,Z可動式テーブル
マイクロフォーカスX線を搭載した高性能モデル。
X線源は90kV・100kV・130kV・150kVから選択が可能で、幾何学倍率最大約70倍までの高拡大撮影を実現しています。
X線源は90kV・100kV・130kV・150kVから選択が可能で、幾何学倍率最大約70倍までの高拡大撮影を実現しています。
検査対象物例
BGA、IC リレー、スイッチ、電池、コンデンサ など高画質・高精細画像で、用途に合ったＸ線出力から選定が可能。
マイクロフォーカスX線を搭載した高性能モデル。
X線源は90kV・100kV・130kV・150kVから選択が可能です。マイクロフォーカスX線発生装置を使用することで、より鮮明な画像を得られます。カメラはX線I.I.を搭載することで、より明るい画像を得られることができ、650万画素高解像度カメラで、高解像度で広視野で検査が可能です。
また、エヌアイシーで独自開発しているソフトウェアで、画像処理を活用して画像の調整も可能です。
多種多様な検査が可能。
X-Y-Zの移動機構を搭載した高性能モデル。
3軸の移動機構を設けることで、広視野から高拡大(幾何学倍率最大約70倍まで)の画像を得ることが可能です。独自ソフトウェアで、以下計測が可能です
基本計測
- 2点間距離計測
- 水平距離計測
- 垂直距離計測
- 短形面積計測
- 楕円面積計測
- 多角形面積計測
応用計測
- 穴ズレ計測
- ピッチ計測
- ワイヤー計測
- ボイド計測
また、オプションのCT機能で透視画像だけではなく、3D撮影が可能です。
操作が簡単
ジョイスティック又はPC上での操作が可能です。
ソフトウェアでパターンを登録することもでき、それらのパターンを切り替えて計測作業することも可能です。登録できる内容は、以下のようなものがあります。
- タイトル
- ステージ位置
- I.I.サイズ
- X線出力
- 表示単位
- 画質調整
等
仕様
| 装置名 | MFS 4090L | MFS 4090 | MFS 4100 | MFS 4130 | MFS 4150 |
|---|---|---|---|---|---|
| 最大管電圧 | 90Kv | 90Kv | 100Kv | 130Kv | 150Kv |
| 最大管電流 | 8W | 8W | 20W | 39W | 75W |
| 最小X 線焦点寸法 | 15μm | 5μm | |||
| 資料テーブル寸法 | 300mm×300mm | ||||
| X 線センサ | ４インチ I.I.カメラ |
４／２インチ切り替え型I.I.カメラ | |||
| 入力電源 | AC100V 50Hz／60Hz | ||||
＊資料テーブル寸法は御要望により変更可能です
用途
| 半導体関連 | IC パッケージングボイド状態など |
| 実装基板関連 |
|
| 電子部品関連 |
|
| ダイカスト関連 |
アルミダイカスト製品、鋳物の気泡状態など |
| ケーブル関連 |
海中ケーブルの被覆部異物検査、樹脂モルド部ケーブル流れなど |